ЭСПОО, Финляндия, 2 декабря 2020 г. - Группа компаний Picosun, ведущий поставщик решений для нанесения тонкопленочных покрытий AGILE ALD® (Atomic Layer Deposition) для мировой промышленности, запустила Sprinter, совершенно новый, полностью автоматизированный высокопроизводительный модуль производства ALD для пластин толщиной 300 мм. . Барьерные, high-k и другие пленки осаждаются в Sprinter с помощью идеального ALD для полупроводников (например, новой памяти, транзистора, конденсатора), дисплеев и компонентов IoT.
В Sprinter качество и однородность пленки увеличены до быстрой пакетной обработки с высочайшей надежностью и повторяемостью (*).
По сравнению с реакторами с вертикальной печью, обычно используемыми для периодической обработки ALD, Sprinter обеспечивает более высокое качество пленки с более низким тепловым балансом, поэтому он также подходит для термочувствительных устройств.
Sprinter сочетает очень быстрое время процесса с меньшими размерами партий, чем в вертикальных печах, что обеспечивает большую гибкость производства и минимизирует риски без ущерба для производительности.
Ядром Sprinter является его революционно спроектированная реакционная камера, в которой полностью ламинарные потоки прекурсора обеспечивают идеальное осаждение методом ALD без паразитного роста CVD. Это сводит к минимуму потребность в обслуживании системы.
«PICOSUN® Sprinter напрямую решает задачи крупносерийного производства ALD на пластинах 300 мм. Мы рады представить этот продукт нашим новым и существующим клиентам на рынках полупроводников 300 мм и предложить им действительно революционную, современную альтернативу старым технологиям в серийном производстве ALD », - говорит г-н Юсси Раути, генеральный директор Picosun Group.
Сертифицированный модуль PICOSUN® Sprinter SEMI S2 / S8 может быть интегрирован в производственную линию или кластер клиента. Он также подходит для линий по производству отдельных пластин, так как не нарушает технологический процесс. Sprinter работает с новой патентованной операционной системой Picosun PicoOS ™ и программным обеспечением для управления процессами.
«Вместе со Sprinter мы запускаем также нашу операционную систему PicoOS ™. Собственная операционная система и программное обеспечение для управления процессами, разработанные нашей собственной командой разработчиков программного обеспечения, означают высочайшую точность управления, кратчайшее время обслуживания, а также высочайшую надежность и качество для наших клиентов », - продолжает Раути.
Полнофункциональное программное обеспечение PicoOS ™ позволяет управлять, управлять и настраивать оборудование PICOSUN® ALD - как автономные системы, так и полные производственные кластеры - через единый, интуитивно понятный и удобный графический интерфейс HMI и обеспечивает плавное соединение между системой и производственной автоматизацией заказчика через Протокол SECS / GEM.
Sprinter доступен для демонстрации процессов на предприятиях Picosun. Продажи модулей Sprinter начнутся в январе 2021 года, а полный кластер Sprinter с несколькими модулями ALD, центральным блоком обработки вакуумных пластин и EFEM будет доступен позже весной 2021 года.
(*) Данные периодического процесса PICOSUN® Sprinter ALD для кремниевых пластин толщиной 300 мм, на примере процесса Al2O3 (дополнительные данные доступны по запросу):
Picosun предлагает самые передовые решения для тонкопленочных покрытий AGILE ALD® (атомное осаждение) для мировой промышленности. Решения Picosun для ALD позволяют совершить технологический скачок в будущее благодаря производственным процессам «под ключ» и непревзойденному новаторскому опыту в этой области, начиная с изобретения самой технологии. Сегодня оборудование PICOSUN® ALD ежедневно используется во многих ведущих отраслях промышленности по всему миру. Picosun находится в Финляндии, имеет филиалы в Германии, США, Сингапуре, Японии, Южной Корее, материковом Китае и на Тайване, офисы в Индии и Франции, а также всемирную сеть продаж и поддержки.